icp光譜法是上世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種分析方法，它的迅速發展和廣泛應用是與其克服了經典光源和原子化器的局限性分不開的，icp光譜儀是多元素順序測量的分析測試儀器。自發明以來，得到廣大檢測人員的喜愛，涉及金屬材料(包括貴金屬、稀有金屬)、非金屬材料、礦石、土壤、核燃料、煤、石油及其產品、化肥、化工原料、半導體晶片、陶瓷材料、食品、藥品、血液、水(純水、廢水)、空氣等幾乎所有材料中雜質(或粒子)的測定

　　icp發射光譜法如果不與其他技術聯用，它測出的只是樣品中元素的總量，不能進行價態分析。

　　icp發射光譜法測定的是樣品中的多種元素，它可以進行定性分析、半定量分析和定量分析，它的定性分析通常準確可靠，而且在原子光譜法中它是一種可以進行定性分析的方法。

　　icp發射光譜法的應用領域廣泛，現在已普遍用于水質、環境、冶金、地質、化學制劑、石油化工、食品以及實驗室服務等的樣品分析中。截止到上世紀80年代初，用ICP發射光譜法就已測定過多達78種元素，目前除惰性氣體不能進行檢測和元素周期表的右上方的那些難激發的非金屬元素如C、N、O、F、Cl及元素周期表中堿金屬族的H、Rb、Cs的測定結果不好外，它可以分析元素周期表中的絕大多數元素。